نقش پمپ وکیوم روتاری در فرآیندهای خلاء بالا و فوق خلاء پمپ وکیوم روتاری: نقش حیاتی در خلاء بالا (۱۰^-۳ تا ۱۰^-۶ torr) و فوق خلاء (کمتر از ۱۰^-۹ torr). کاربرد در نیمهرسانا، پوشش PVD، متالورژی و تحقیقاتی
